ニュースリリース
世界初ナノフォーカスX線管の開発に成功
E4501(管電圧 5〜15kV)
当社は、世界初となる1μm以下の微小焦点を持ち、低電圧で駆動できるX線管の開発に成功しました。放出される軟X線は、ソフトマテリアル試料や微小な半導体素子の非破壊検査に威力を発揮します。電子顕微鏡で用いられている磁界レンズで構成された従来の微小焦点X線管は、真空ポンプなどの付帯機器が多く、重量は60kg程度ありました。ナノフォーカスX線管E4501は小型(全長260mm)で軽量(4kg以下)であることから、システムを小型化できます。
今回開発したナノフォーカスX線管は、電子集束機構に静電レンズを用いており、当社の電子光学設計と微細加工技術を適用し、低電圧(軟X線)と微小焦点を両立させたものです。管電圧が5〜15kVのX線管E4501は有機系の薬品や軟素材、10〜30kVのE4502は微小半導体素子やMEMS部品の検査に適しており、X線CT装置や透過撮影装置などに使用できます。
観察例
| サンプル:羽毛(水鳥) | サンプル:ダイヤモンドペースト (粒径15μm) |
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| サンプル:玄米(胚芽部分) | サンプル:ウェット・ティッシュ |
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仕様
ナノフォーカスX線管-E4501-
| 管電圧 | 5〜15kV | |
|---|---|---|
| 管電流 | アノード電流 | 300μA(max) |
| X線焦点サイズ | <0.5μm (電圧に依存) |
|
| X線放出角 | >90° | |
| 焦点vs試料距離 | 0.2mm (min) | |
| X線放出窓 | 材質 | ベリリウム |
| ターゲット | 方式 | 透過型 |
| 材質 | タングステン(標準) | |
| 電子銃 | 熱電界型電子源(TFE) | |
| 電子光学系 | 一段静電レンズ | |
| 寸法 | φ104mm×L257mm | |
| 重量 | 約3.9kg | |
ナノフォーカスX線管-E4502-
| 管電圧 | 10〜30kV | |
|---|---|---|
| 管電流 | アノード電流 | 300μA(max) |
| X線焦点サイズ | <0.5μm (電圧に依存) |
|
| X線放出角 | >90° | |
| 焦点vs試料距離 | 0.2mm(min) | |
| X線放出窓 | 材質 | ベリリウム |
| ターゲット | 方式 | 透過型 |
| 材質 | タングステン(標準) | |
| 電子銃 | 熱電界型電子源(TFE) | |
| 電子光学系 | 一段静電レンズ | |
| 寸法 | 451mm×270mm×303mm | |
| 重量 | 32kg(遮蔽ボックス含む) | |
※記載事項はことわりなく変更することがあります。ご使用にあたっては東芝電子管デバイス株式会社にご照会ください。
